要求
不銹鋼管件在現場(chǎng)安裝時(shí)方可啟封,啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統。整個(gè)系統安裝完成后,還要再使用5N的高純氮氣進(jìn)行大流量吹掃,以確保整個(gè)系統的潔凈度。供氣系統安裝完成后,根據要求進(jìn)行相關(guān)的強度測試、密封測試和穩定性測試。實(shí)驗室“氣體工程”是一項較為復雜,嚴謹的系統工程,需要專(zhuān)業(yè)的工程公司參與整體設計規劃。
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氣體混配器技術(shù)特性
采用動(dòng)態(tài)氣體混合法,具有即混即用的特點(diǎn),使氣體混合更均勻
在額定范圍內輸入壓力的波動(dòng),以及輸出流量變化,配比精度保持不變
配氣過(guò)程直觀(guān),調整便捷
為純機器結構,使用壽命長(cháng),安全可靠
體積小巧、重量輕,攜帶和使用方便
氣體混合精度高,可達±0.05%
可實(shí)現雙元或多元氣體同步混合
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氣體管路要求
引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門(mén)。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。每隔1.5米左右,氣體管路就需要有支架。另外根據氣體管路彎曲的半徑,設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。
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